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　　真空预压气浮轴承 NEW WAY 真空预压气浮轴承结合使用气压及真空，从导轨上浮起并同时吸附在导轨面上。可通过分别对真空及压力进行调节达到优化真空预承的浮动高度及刚性的效果。 应用简单 NEW WAY 使气浮轴承的应用变得十分简单。柔性安装支架带来双向刚性，底支点，及对NEW WAY真空预压气浮轴承的极小的角度调整。 应用 1.晶圆定位 2.晶圆探测（高速） 3.晶圆凸点技术（高速） 4.自动光学检测 5.校对 6.成像景深调节 7.垂直度调节 8.测试及修复 市场 1.半导体 2.测试及测量 3.光学 4.平板印刷